PI -XYZ压电系统P-611.3 NanoCube系统
用于纳米定位和光纤对准的紧凑型多轴压电系统
行程范围达 120 µm × 120 µm × 120 µm
超紧凑型:44 mm × 44 mm × 44 mm
分辨率达 0.2 nm
快速响应行为
零间隙、高精度挠性导轨系统
PICMA® 压电执行器具有出色的使用寿命
用于快速扫描
带集成光纤支架的版本
特别便宜的系统
应用领域
光子学/集成光学
显微操作
生物技术
半导体测试
光纤定位
零间隙挠性导轨带来高导向精度
挠性导轨无需维护、摩擦和磨损,也不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且它们对冲击和振动不敏感。它们是 100% 真空兼容的,可在很宽的温度范围内工作。
PICMA ®压电执行器具有出色的使用寿命
获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而导致的潮湿和故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。证明了 1000 亿次循环而没有一次故障。
PI -XYZ压电系统P-611.3 NanoCube系统
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