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| 有效期至长期有效 | 最后更新2021-11-12 18:13 |
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pi-P-561 • P-562 • P-563 PIMars 纳米定位平台
pi-P-561 • P-562 • P-563 PIMars 纳米定位平台：
多达 3 个轴的高精度纳米定位器
平行运动学可实现更快的响应时间和更高的多轴精度
行程可达 300 × 300 × 300 µm
电容式传感器带来的最高线性度
零间隙、高精度挠性导轨系统
出色的扫描平整度
高动态 XYZ 版本
通光孔径 66 mm × 66 mm
PICMA® 压电执行器具有出色的使用寿命
特高压版本至 10 -9 hPa
pi-P-561 • P-562 • P-563 PIMars 纳米定位平台
应用领域
扫描显微镜
掩模/晶圆定位
干涉测量法
测量技术
生物技术
扫描筛选
具有电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
自动配置和快速组件更换
机械和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置 D-sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
适用于复杂的真空应用
压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。操作时不需要润滑剂或油脂。不含聚合物的压电系统允许特别低的脱气率。
得益于 PICMA® 压电执行器，使用寿命长
获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA® 执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。已证明 1000 亿次循环无一次故障。
零间隙挠性导轨实现高导向精度
挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 100% 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。
由于平行位置测量，在纳米范围内具有高跟踪精度
所有的自由度都是根据一个单一的固定参考来测量的。轴之间不需要的串扰可以实时（取决于带宽）主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也能在纳米范围内实现高跟踪精度。
pi-P-561 • P-562 • P-563 PIMars 纳米定位平台
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