客服热线：
| 品牌pi | 有效期至长期有效 | 最后更新2021-06-23 13:50 |
| 浏览次数5 |
pi-P-517 • P-527 多轴压电扫描仪
pi-P-517 • P-527 多轴压电扫描仪
具有直接位置测量功能的高动态纳米定位器/扫描仪
2 轴和 3 轴版本（XY 和 XYθ Z）
行程范围达 200 µm
亚纳米分辨率
pi-P-517 • P-527 多轴压电扫描仪
应用领域
计量学
干涉测量法
光子学/集成光学
光刻
纳米定位
扫描显微镜
样本对齐
微加工
具有电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
自动配置和快速组件更换
机械和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置 D-sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
得益于 PICMA® 压电执行器，使用寿命长
获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA® 执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。已证明 1000 亿次循环无一次故障。
零间隙挠性导轨实现高导向精度
挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 100% 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。
由于平行位置测量，在纳米范围内具有高跟踪精度
所有的自由度都是根据一个单一的固定参考来测量的。轴之间不需要的串扰可以实时（取决于带宽）主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也能在纳米范围内实现高跟踪精度。
pi-P-517 • P-527 多轴压电扫描仪
| 申紫东 QQ：2850590588 手机：18519582190 电话：010-64714988-182 传真：010-84786709-667 邮件：sales61@handelsen.cn |
 |
 |
